Cảm biến là một thiết bị phát hiện có thể cảm nhận thông tin đo được và có thể chuyển đổi thông tin được cảm nhận thành tín hiệu điện hoặc dạng đầu ra thông tin cần thiết khác để đáp ứng việc truyền, xử lý, lưu trữ thông tin và các Yêu cầu về hiển thị, ghi và điều khiển.
Phân loại theo quy trình sản xuất:
Cảm biến tích hợp được chế tạo bằng công nghệ xử lý tiêu chuẩn để sản xuất mạch tích hợp bán dẫn dựa trên silicon. Một phần mạch điện được sử dụng để xử lý ban đầu tín hiệu được thử nghiệm cũng thường được tích hợp trên cùng một con chip, chẳng hạn như cảm biến MEMS hiện đang được phát triển.
Cảm biến màng mỏng được hình thành bởi một màng vật liệu nhạy cảm tương ứng được lắng đọng trên nền điện môi (chất nền). Khi sử dụng quy trình trộn, một phần của mạch cũng có thể được chế tạo trên chất nền này.
Cảm biến màng dày được chế tạo bằng cách phủ một lớp vật liệu tương ứng lên nền gốm, thường được làm từ Al2O3, sau đó được xử lý nhiệt để tạo thành màng dày.
Cảm biến gốm được sản xuất bằng quy trình gốm tiêu chuẩn hoặc một số biến thể của chúng (sol, gel, v.v.). Sau khi hoàn thành thao tác chuẩn bị thích hợp, thành phần tạo thành sẽ được thiêu kết ở nhiệt độ cao.
Có nhiều đặc điểm chung giữa hai quá trình cảm biến màng dày và cảm biến gốm. Ở một số khía cạnh, quy trình tạo màng dày có thể được coi là một biến thể của quy trình gốm.
Việc lựa chọn cảm biến không chỉ ở độ nhạy, đáp ứng tần số, dải tuyến tính, độ ổn định và độ chính xác. Độ ổn định liên quan chặt chẽ đến vật liệu nền. Một số mục đầu tiên chủ yếu xem xét quá trình sản xuất. Về độ ổn định thì Bảng mạch không gốm phù hợp nhất cho cảm biến. Độ ổn định của vật liệu gốm khá tốt. Chỉ cần công nghệ quy trình sản xuất có thể vượt qua, bảng mạch gốm chắc chắn sẽ tốt hơn các loại PCB khác.
Quy trình sản xuất bảng mạch gốm tốt nhất là công nghệ LAM, Laser Activation Metallization (công nghệ LAM), sử dụng chùm tia laser năng lượng cao để ion hóa gốm sứ và kim loại để làm cho chúng bền chắc.
Tuy nhiên, hiện nay các nhà sản xuất cảm biến trong nước chủ yếu là quy mô vừa và nhỏ. Vẫn còn nhiều quy trình tạo màng được sử dụng và chất nền FR-4 được sử dụng. Tuổi thọ sử dụng không lâu, độ ổn định kém, trong môi trường hơi khắc nghiệt, chúng trực tiếp tấn công. Phải mất rất nhiều công sức để cảm biến có thể theo kịp các tiêu chuẩn quốc tế.
Cảm biến vẫn cần bảng mạch gốm. Nó đã được sử dụng rộng rãi ở các nước phát triển. Trung Quốc thực sự không bị hạn chế về mặt kỹ thuật, việc thay thế bảng mạch cảm biến phụ thuộc vào các nhà sản xuất lớn là Goer, Dahua. Để dẫn đầu, các nhà sản xuất thực hiện đổi mới công nghệ, để ngày càng lớn mạnh hơn, ngành công nghiệp cảm biến của Trung Quốc cũng có thể bắt kịp tốc độ của thế giới.
