Phân loại chính của cảm biến:
Theo mục đích
Cảm biến nhạy cảm với áp suất và lực, cảm biến vị trí, cảm biến mức, cảm biến năng lượng, cảm biến tốc độ, gia tốc kế, cảm biến bức xạ, cảm biến nhiệt.
Theo nguyên tắc
Cảm biến rung, cảm biến độ ẩm, cảm biến từ tính, cảm biến khí, cảm biến chân không, cảm biến sinh học, v.v.
Nhấn tín hiệu đầu ra
Cảm biến tương tự: chuyển đổi đại lượng phi điện được đo thành tín hiệu điện tương tự.
Cảm biến kỹ thuật số: Chuyển đổi các đại lượng phi điện được đo thành tín hiệu đầu ra kỹ thuật số (cả trực tiếp và gián tiếp).
Cảm biến kỹ thuật số: Chuyển đổi đèn hiệu đo được thành đầu ra của tín hiệu tần số hoặc tín hiệu chu kỳ ngắn (bao gồm cả chuyển đổi trực tiếp hoặc gián tiếp).
Cảm biến chuyển đổi: Khi tín hiệu đo được đạt đến một ngưỡng nhất định, cảm biến sẽ xuất ra tín hiệu thấp hoặc cao đã đặt tương ứng.
Theo quy trình sản xuất
Các cảm biến tích hợp được chế tạo bằng quy trình công nghệ tiêu chuẩn để sản xuất các mạch tích hợp bán dẫn dựa trên silicon.
Một phần của mạch được sử dụng để xử lý ban đầu tín hiệu được kiểm tra cũng thường được tích hợp trên cùng một con chip.
Cảm biến màng mỏng được hình thành bởi một màng vật liệu nhạy cảm tương ứng lắng đọng trên chất nền điện môi (chất nền). Khi sử dụng quy trình trộn, một phần của mạch cũng có thể được chế tạo trên chất nền này.
Cảm biến màng dày được tạo ra bằng cách phủ một lớp vật liệu tương ứng lên đế gốm, thường được làm bằng Al2O3, sau đó được xử lý nhiệt để tạo thành màng dày.
Cảm biến gốm được sản xuất bằng quy trình gốm tiêu chuẩn hoặc một số biến thể của chúng (sol, gel, v.v.).
Sau khi hoàn thành hoạt động chuẩn bị thích hợp, thành phần được tạo thành được thiêu kết ở nhiệt độ cao. Có nhiều đặc điểm chung giữa hai quá trình màng dày và cảm biến gốm. Ở một số khía cạnh, quy trình tạo màng dày có thể được coi là một biến thể của quy trình gốm.
Mỗi quy trình công nghệ đều có những ưu điểm và nhược điểm riêng. Cảm biến gốm và màng dày hợp lý hơn do
